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锦正茂多维磁场探针台的用途及技术参数

更新时间:2023-01-30 点击量:477

产品概述:

北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台,采用无磁材料制成,采用亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间维磁场。线圈可采用自然冷却(磁场较小)水冷结构(磁场较大),标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

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应用范围:

广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配,通过真正的双极性电源输出,实现了空间任意方向上的矢量场合成。

可选附件:

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCDC-MOS视频成像装装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头      

þ 静音真空泵

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技术指标:

三维磁场探针台

型号

T8-500-3

T8-300-3

T8-100-3

材质

所选材料均为无磁材质

磁场范围

500Gs

300Gs

100GS

线圈材质

耐高温漆包线

磁场均匀性

中心区50毫米球体内1%

电源稳定性

三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm

磁场分辨率

0.05 mT

角度分辨率

0.02°

样品固定方式

吸盘或者压片

样品台直径

50mm可定制

显微镜

XY平面2*2inch,精度1μmZ轴行程≥50.8mm,可选加载激光

放大倍数

16~100X/20~4000X

探针臂数量

24可选

探针臂行程

25mm-25mm-12mm可更换

探针臂移动精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

探针长度

38mm

探针直径

0.51mm

针尖直径

10μm/5μm/1μm

探针材料

/铍铜/GGB

漏电精度

100fA

显微镜

XY平面2*2inch,精度1μmZ轴行程≥50.8mm,可选加载激光



联系方式

邮箱:gulong@jinzhengmaoyiqi.com 地址:北京市大兴区经济开发区金苑路2号1幢三层
咨询热线

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