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选择探针台时需要注意哪些事项

更新时间:2023-01-30 点击量:926

探针台是一种很专业的仪器,它主要的功能就是针对半导体元件进行检测,这里面说的半导体元件指的是集成电路,分立器件,光电器件,传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流,电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析,抽查检测等;可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,所以,它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。

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以下是探针台选型注意事项

※zui大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高?
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
※最多需要几个探针同时去点测?
※是否会用到探针卡测试?
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
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※探针点测时,对电流的要求能否达到100fa或者以下?低

电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求?
※接驳的测试仪器接口有哪些?
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有压缩空气?







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