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高低温真空磁场探针台T8-EM4的技术指标

更新时间:2023-02-13 点击量:329

锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个(可选6个或8个)拥有高精度位移的探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

测试范围:

磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试,微电子机械系统,超导电性测试,纳米电路的光电属性,量子点和线,高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。

 

技术指标:

型号 T8-EM4

真空度:高达10-8Pa

腔体材质:无磁不锈钢或者铝合金

磁场范围:2000Gs @50mm

磁场方向 :水平(可按用户要求设计成竖直方向的)

配套电源:双极性电源±50A

电源稳定性 50ppm(可选10ppm

制冷方式 :液氦/液氮制冷/闭循环制冷机

温度范围 5K-325K可选500K

控温分辨率:0.001K控温仪相关

温度稳定性 :优于0.1K依赖于控温仪

温度传感器 :硅二极管/PT100/CernoxTM

传感器数量: 样品台、防辐射屏、探针臂各一个

样品台尺寸:(max) Φ50mm,平整度≤7μm

样品台固定方式: 真空硅脂/弹簧压片

样品台材质: 镀金无氧铜

显微镜行程: XY平面2*2inch,精度1μmZ轴行程≥50.8mm

放大倍数 16~100X/20~4000X

真空腔观察窗尺寸: 1inch

窗口材料 :熔融石英(可选K9、氟化钙等)

探针臂数量: 2468可选

探针臂行程: (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换

位移精度 10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

接口形式 :普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA

探针直径 0.51mm

针尖直径 10μm/5μm/1μm可选

探针材料: /GGB

供电电压 AC220V 50Hz/60Hz

 



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