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探针台测试系统简介

更新时间:2023-03-01 点击量:643

探针台,是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备,也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势,高性能低成本,用途广,操作方便,在不同测试环境下,测试结果稳定,客观,深受工程师们的青睐。

探针台主要用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试,实现更加精确的数据测试测量。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。在所有的测试环节中都会用到测试机,不同环节中测试机需要和分选机或探针台配合使用。

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。

锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个(可选6个或8个)拥有高精度位移的探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。


可选附件:

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCD或C-MOS视频成像装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头

þ 静音真空泵


探针台的维护和保养

1.避免碰撞:在安装,操作探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。

2.仪器的运输:仪器运输时,请先拔掉电源线插头。

仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。

3.仪器的存放

使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。

探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。

探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸*从中间向外轻轻的擦拭。*时易燃物,注意使用安全。

停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。

操作人员必须严格按要**作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。

4.工作环境

探针台应放在稳定可靠的台面上,最好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。






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