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三维磁场探针台T8-500-3的技术指标

更新时间:2023-07-14 点击量:379


北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台,采用无磁材料制成,采用亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间维磁场。线圈可采用自然冷却(磁场较小)水冷结构(磁场较大),标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

技术指标:

型号:T8-500-3

材质:所选材料均为无磁材质

磁场范围:500Gs

线圈材质:耐高温漆包线

磁场均匀性:中心区50毫米球体内1%

电源稳定性:三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm

磁场分辨率:0.05 mT

角度分辨率:0.02°

样品固定方式:吸盘或者压片

样品台直径:50mm可定制

显微镜:XY平面2*2inch,精度1μmZ轴行程≥50.8mm,可选加载激光

放大倍数:16~100X/20~4000X

探针臂数量:24可选

探针臂行程:25mm-25mm-12mm可更换

探针臂移动精度:10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

探针长度:38mm

探针直径:0.51mm

针尖直径:10μm/5μm/1μm

探针材料:钨/铍铜/GGB

漏电精度:100fA

 

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