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探针台选型应该注意哪些事项

更新时间:2023-10-18 点击量:241

探针台是一种很专业的仪器,它主要的功能就是针对半导体元件进行检测,这里面说的半导体元件指的是集成电路,分立器件,光电器件,传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流,电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析,抽查检测等;可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,所以,它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。 

以下是探针台选型注意事项

zui大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高? 
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm60μm *60μmpad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路? 
※最多需要几个探针同时去点测? 
※是否会用到探针卡测试? 
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? 
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 
※探针点测时,对电流的要求否达到100fa或者以下?低电容要求否要做到0.1pf是否有射频需求? 

※接驳的测试仪器接口有哪些? 
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck 
※是否需要防震桌? 
※若添置防震桌,是否有压缩空气?



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