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真空技术专业名词解析

更新时间:2023-11-15 点击量:207

在真空科学与技术中,真空"词被理解为低于一个标准大气压的气体状态。这种状态同正常的大气状态相比较,气体较为稀薄,即单位体积内的分子数目较少,分子之间或分子与其它粒子(如电子、离子)之间的碰撞几率减少,分子在单位时间内碰撞于单位表面积(如器壁)上的次数也相对减少。这些是真空"的主要特性。真空常用帕斯卡(Pa)或托尔(Torr)作为压力的单位(1 Torr = 133.3 Pa)。在自然环境里,只有外太空堪称*接近真空的空间。

真空技术专业名词

1. 标准大气压

在重力加速度为980.665cm/s2,水银温度为0℃,密度为13.5951g/cm3的条件下,760mm高的汞柱产生的压力,称为标准大气压。一个标准大气压的值为:

标准大气压值公式.jpg 

2. 真空度

表示真空状态下气体的稀薄程度,通常用压力值来表示。

3. 真空区域划分

低真空:1E5Pa1E2Pa

中真空:1E2Pa1E-1Pa

高真空:1E-1Pa1E-5Pa

超高真空:1E-5Pa1E-9Pa

*高真空:低于1E-9Pa

4. 全压力

混合气体中所有组分压力的总和。

5. 分压力

混合气体中某一组分的压力。

6. 平均自由程

一个分子与其它气体分子每连续两次碰撞之间的平均路程,叫平均自由程。平均自由程与压力、温度及分子直径等因素有关。对于室温下的空气,平均自由程近似值由下式给出:

 平均自由程.jpg

式中λ —平均自由程,m—气体压力,Pa

7. 粘滞流

气体分子的平均自由程远小于导管最小截面尺寸的流态。因此,流动取决于气体的粘滞性,粘滞流可以是层流或滞流。

8. 分子流

气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态。

9. 中间流

在粘滞流和分子流之间状态下气体通过导管的流动。

10. 流量

在给定时间间隔内通过某一截面的气体量除以该时间。

11. 吸附

固体或液体对气体或蒸气的捕集现象。

12. 解吸

被材料吸附的气体或蒸气的释放现象。

13. 去气

气体从材料中人为的解吸。

14. 放气

气体从材料中自然的解吸。

15. 渗透

气体通过固体阻挡层的现象。

注:只列出常用真空技术术语,如果需要其它术语的解释,请查阅真空标准GB/T3163-2007

 



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