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影响真空环境的因素

更新时间:2023-11-20 点击量:208

真空环境的获得比较困难,尤其是超高真空环境,其中主要的影响因素有以下几点:

1. 部件生产过程中,其表面不可避免的会附着金属碎屑和灰尘,因此在进行抽空作业前,必须对部件表面进行清洁,以保证环境尽快达到所需要求。

2. 在温度和压力的作用下,所有物质都可以通过冷凝和蒸发在固液气三种状态下变化,因此物质的聚集状态对真空环境的影响巨大。

3. 吸附在部件表面的气体在真空环境下会被解吸,之后逸到真空环境中,影响真空系统、另外真空系统通常由不同的密封件连接在一起,由于密封质量的不同,因此整体的漏率对真空环境影响较大。

4. 为了获得高质量的真空环境,在操作过程中,可使用烘烤的方法增加气体的解吸和扩散,以便设备能更多的抽出金属中逸出的气体。

5. 由于解吸过程缓慢,为了防止冷凝蒸汽(如水蒸气和其他可冷凝物)吸附在真空室内壁上,造成避免不必要的污染,应该使用干燥的氮气代替空气对真空室进行排气。


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