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锦正茂科技高低温探针台T8-LY100技术参数

更新时间:2023-12-01 点击量:268

高低温探针台T8-LY100能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-420K高低温测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测,用于低温环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

技术参数:

1真空腔体约直径260mm

2带有4英寸高透射观察窗,材质熔融石英

3样品载台直径:50mm 样品载台平整度<5微米

4温度范围:80K-420K,控温仪精度:0.1-0.5K

5X-Y-Z行程范围:±25mm*±25mm*0-12.5mm线性运动,位移精度:1um

6预留光纤接入口做光响应测试

7预留四个探针座的接口

8探针长度38mm,直径0.5mm,针尖直径1um

9两套CCD相机(能看清1-2um

10耦合一套四轴应变装置(定制)

11三同轴射频接口:4只,外接三同轴连接线双向公头,长度 2

13真空抽口KF50

14、重量:75kg

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