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如何选择合适的探针台

更新时间:2024-01-18 点击量:991

随着电子技术的不断发展,越来越多的精密细小器件逐步开放和增长,作为对细小器件检测的bi备仪器—探针台也显得越来越重要。探针台可以将待测器件进行放大几十到上千倍,可将微观层面的东西搬到宏观上来进行研究,连接测试仪器仪表进行测量。那么如何选择一款适合的探针台显得尤为重要。

第一,我们需要选择合适尺寸的样品座,会有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分,如果我们测试的样品是大的晶圆或器件,我们还需要注意的是,探针是否能满足扎到样品的任意位置。

第二,我们选用探针臂的数量和类型,可以最多同时搭载6个探针臂,探针臂的类型有直流臂、射频臂和微波臂,会配备相应的探针。

第三,因为不同的测试,我们需要对应的测试环境,我们可以选择是否带有磁场,磁场是固定的还是变磁场,对应的就要配备永磁铁和电磁铁。

第四,我们的测试是否有温度需要,我们需求的温度范围是多少,有室温、4K-室温阶段(真空下)、有液氮温度-800K(真空下),对应的是室温手动探针台、4K闭循环探针台、液氮高低温真空探针台。

第五,我们需要明白自己的测试样品是多大的电极点或者Pad点,需要选择一款适合自己显微镜系统,有最小识别3μm、1μm、0.1μm之分,因为随着显微镜的放大倍数的增大,相应的显微镜的工作距离会缩短(物镜到样品表面的距离),我们要考虑关于工作距离的要求,同时一般建议我们探针直径最好是不大于Pad点的四分之一,利于扎针和测试。

第六,如果我们探针台的放置位置有空间尺寸的限制,我们需要考虑整体探针台的大小尺寸。

总体来说,如何购买一台适合自己的探针台,我们需要考虑多方面的内容。可以根据每家探针台厂家的参数及价格进行对比,最终可以买到一台适合自己需求的设备。

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