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探针台是如何工作的

更新时间:2024-03-02 点击量:373

         探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上,该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。

机械手放置在平台的平面上,并在机械手中插入探针臂和jian端。探头jian端必须适合要执行的测试程序。然后,用户通过调整相应的操纵器将探针jian端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触;现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆,在测试第一个器件后,可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针jian端的过程,直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成,但如果载物台和机械手是电动的,并且显微镜连接到计算机视觉系统,那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量,并减少运行多个测试所需的劳动力。


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