真空探针台是用于半导体晶圆测试的专用设备，通过构建高真空或特定温控环境实现芯片电参数精确测量。其核心功能为连接测试机与晶圆介质，通过微米级定位系统完成裸芯片电性测试及功能验证，在集成电路可靠性检测和失效分析中具有关键作用。
该设备由真空腔体、精密定位系统、探针臂组件和环境控制系统构成，可实现-196℃至+675K宽温域测试。应用领域涵盖I/C-V测试、RF/PCB测试、光电器件分析等半导体测试全流程，并扩展至超导材料、热电器件等新型材料研究。
在选购真空探针台的时候我们需要注意的问题如下：
（1）真空度的要求
（2）测试类型：如直流或高频
（3）样品分辨率要求
（4）样品尺寸
（5）探针操作装置数量
（6）探针操作精度要求
（7）测试精度：如fA/pA/nA的要求
（8）其它预留接口要求。如光纤接品。
（9）其它组件的配置
