晶圆强磁场退火热处理装备可以将被测样品同时置于强磁场、高真空、高温、气氛环境中，同时也可以单独或任意组合这三种实验环境，满足不同样品在不同环境下的测试要求。
适应范围：高温、高真空、强磁场环境中加热或去磁的各种磁性材料。
性能指标参数
磁体轴线上，纵向磁场分布详见附件电磁设计数据
磁体均匀区纵向磁场均匀度小于0.1%
温孔轴心和磁场轴心偏差（包括平移和倾斜）小于0.2mm
励磁电流小于120A，轴心磁场达到12T
常温到超导工作时间应小于48小时。
安*保护
高温报警：设备发出警报后自动切断输出，实现设备保护。
失超报警：设备失超后自动保护。
缺相报警：设备缺相后发出错误指示，直至恢复正常。
真空度警报：实现真空度非正常状态报警
