在真空系统中，温度对真空度的影响十分显著，降低温度通常能够有效提升真空度，其原理主要涉及气体动力学、冷凝效应以及设备运行特性，具体如下：
温度降低对气体行为的影响
根据理想气体状态方程，当系统体积和气体物质的量保持不变时，压强与温度成正比。这意味着温度下降会直接导致气体分子平均动能减小，热运动减弱，从而降低系统内压强，提升真空度。例如，在蒸馏或蒸发过程中，通过降低冷凝器出口温度，可以增强蒸汽冷凝效果，减少不凝性气体含量，进而提高系统真空度。
低温对可凝性气体的去除作用
在真空系统中，水蒸气等可凝性气体是影响极限真空度的主要因素之一。低温环境能使这些气体在冷阱或冷凝器表面凝结为液体或固体，从而被有效去除。以低温恒温器或ARPES系统为例，冷屏（通常冷却至77K或更低）能高效吸附水蒸气、二氧化碳等杂质气体，显著降低腔体内气体分压。这种“低温泵"效应在超高真空系统中尤为关键。
温度对真空泵性能的影响
真空泵的工作效率与温度密切相关。
（1）水环式真空泵：降低供水温度可以增强水环的稳定性，减少气蚀现象，从而提高抽气效率。研究表明，将水温控制在15–25℃时，真空度可提升8–10%。
（2）旋片泵：泵油在高温下粘度下降，密封性能变差，易导致气体回流；同时高温会加速泵油蒸发和氧化，产生油蒸气污染系统。因此，将泵体工作温度控制在5–40℃范围内，有助于维持较高的极限真空度。
高温对真空度的负面影响
尽管个别观点认为高温有利于抽真空（如加快气体释放），但实际上，环境或系统温度过高通常不利于获得高真空。高温会加剧材料表面吸附气体的解吸，增加系统内气体负荷；同时使泵油挥发、密封件老化，进一步恶化真空环境。例如，在夏季，由于空气中水蒸气含量高且温度高，设备往往难以达到理想的99%真空度。
实际应用中的温度控制策略
（1）冷却水调节：通过降低冷凝器入口冷却水的温度，可以提升冷凝效率，减少残余蒸汽。
（2）冷阱使用：在高真空系统中，采用液氮冷阱捕集残余蒸汽，有效降低气体分压。
（3）设备散热管理：对真空泵进行散热管理，避免过热导致性能下降。
（4）烘烤与降温结合：在科学实验中，通过烘烤（加热至100–150℃）系统内壁提前释放吸附气体，随后降温运行，以实现更高真空。这种“先加热后冷却"的复合策略，核心仍是最终降低系统温度以维持高真空。
综上，通过降低温度提高真空度的核心原理在于抑制气体分子运动、促进可凝气体冷凝、优化泵的工作状态。在大多数工程与科研场景中，低温是实现高真空乃至超高真空的必要条件。
