在真空环境中，温度对固体材料的行为具有重要影响，主要体现在气体释放、蒸气压特性以及材料稳定性等方面。其核心在于，温度的变化会显著改变材料向真空释放气体的速率和成分，从而直接影响真空系统的性能和极限。
当固体材料处于真空中时，其表面和内部吸附的气体（如水蒸气、氢气、氧气等）会逐渐释放出来，这一过程称为放气。温度升高会加速这一过程：随着温度上升，气体分子获得更多能量，更容易从材料表面脱附并扩散到真空中。例如，304不锈钢和银在200℃时的放气率高于室温或400℃，呈现出先升高后降低的趋势。不同材料对温度的响应各不相同，钛合金钢在高温下放气率明显上升，因其内部含有较多氢元素，需要加热至400℃以上才能有效去除。
此外，固体材料本身在一定温度下会产生饱和蒸气压。当环境真空度足够高时，若温度升至临界点，材料可能发生升华或表面成分蒸发，成为新的气体来源。这一现象在真空镀膜工艺中被主动利用——通过加热金属或化合物使其气化，进而在目标表面沉积成膜。但在高精度实验系统中，这种蒸发可能造成污染，因此需严格控制工作温度，避免密封件或绝缘材料等部件挥发杂质。
相反，降低温度有助于抑制材料的放气行为。低温表面具有“冷凝泵"效应，能够将残余气体冻结吸附。例如，在77K以下，水蒸气、二氧化碳等可凝性气体被高效捕获，显著提升局部真空质量。同时，低温还能减缓气体分子在样品表面的吸附速度，对于ARPES等对表面洁净度要求*高的实验而言，有助于延长有效测量时间。
在实际操作中，常采用“先加热除气、后降温运行"的策略来优化真空环境。例如，通过烘烤工艺将真空腔体加热至100–150℃甚至更高，促使材料提前释放吸附气体，随后抽真空并冷却，以获得更稳定、更高水平的真空度。对于不锈钢、银等常用材料，烘烤温度控制在400℃以下即可满足需求；而含氢量较高的钛合金则需要更高温度处理。
综上所述，温度通过调控固体材料的放气速率、蒸气压以及表面吸附能力，深刻影响着真空系统的建立与维持。合理设定和控制温度，是实现高真空乃至超高真空的关键环节。
