
高温(磁场)退火炉系统,可以在高温和外加磁场条件下对需要处理的样品进行退火处理。通过系统软件,可以设定温度和磁场变化曲线,从而实现所需的退火步骤。此系统操作简单方便,可以轻松达到改善材料性能、改变材料中原子磁矩的方向和排布等目的。
锦正茂高温磁场退火炉是由升温高温炉,高温炉加热电源,Labview控制软件,电磁铁,双极性恒温电源,分子泵组,水冷机组共同组成的一套反馈调节的加热系统。
GC350-200主要技术指标:
※ 温度范围:室温-350℃(硅片上边温度)
※ 控温精度:±1℃
※ 温度分辨率:0.1℃
※ 样品尺寸:8英寸(需要有固定夹具,还有10mmx10mm,20mmx20mm样品也需要考虑单独固定)
※ 样品温度:精圆上单独放一个温度计,测量精圆表面温度(温度计封装在镀金无氧铜块内,铜块与精圆接触测 温,使用比较细的软线方便移动与测量)
※ 磁场强度:>1000oe(样品测试处磁场)
※ 持续工作时间:5小时
※ 样品台尺寸:210mm (根据实际可更改,不小于8英寸),
※ 样品台采用三维移动方式,移动行程:±110mm,移动精度:10um
※ 样品台主要零部件材质均为**无磁合金制作;
※ 在室温到350度,升温速率优于10K/min,*高加热温度350℃;控温精度:±1℃;
※ 加热时,加热丝被封装在石英管内,极大程度的减少由于加热丝的挥发造成样品表面附着物的污染;
※ 匹配磁铁电源:双极性,稳定度优于±25ppm/h,平滑过零无断点;
※ 匹配电磁铁:长时间运行稳定度<±0.5Gs;
※ 冷却方式:自然冷却。