硅二极管温度传感器的精度会受多方面因素共同影响，核心可以分成器件本身和外部使用两大类。
制造过程中材料的均匀性、工艺稳定性会直接影响器件的初始离散性，未经筛选的器件会存在固有测量偏差。不同封装形式也会带来差异，裸片或微型封装的传感器热响应更快、热容更小，动态测温的准确性会优于厚层封装的产品。
激励电流的控制是使用环节的关键，通常要采用10μA到100μA的小电流驱动，避免电流过大引发传感器自热，导致测温出现偏差。是否经过标准校准也至关重要，未校准的器件精度会明显受限，经过NIST标准或专用油浴校准的产品，测量精度能得到大幅提升。
除此之外，配套电路的元件选型、布局，以及使用环境的温度波动、电磁干扰等，也会在不同程度上影响*终的测量精度表现。
