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10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温

【概要描述】10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温
集成控制系统:控制真空系统、制冷机的运行及安全反馈功能。可设置和显示工作目标参数和系统工作状态,具备反馈安全控制功能。

型号: 点击量:127 厂商性质:生产厂家 更新日期:2024-10-11
产品详情
品牌锦正茂价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域电子,航天,电气

一、概述:

系统组成:

该系统由氦制冷机、氦压缩机、水冷机、真空泵组、温度传感器、控温仪、真空腔体、KF25真空抽口、以及制冷机支架、样品台、样品卡等附件共同构成。10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温

产品特点:

1.制冷量:一级制冷7W@45K,二级制冷1.0W@4K,所需电为380V,50Hz。

2.工作压力:<2×10-4Pa;正常生产时,会经过氦气质谱检漏仪捡漏,真空度可以达到10-4Pa,(可选10-6Pa)依据泵的极限真空而定。

3.温度监控:样品台处设置一处温度测量点,监控并显示样品处的温度。测温精度±0.01K。

4.样品降温和升温时间:制冷至4K的时间小于2.2h(腔室加大后会延长制冷时间),制冷关机后在真空下恢复到常温的时间小于3h,该装置采用无液氦闭循环制冷机制冷,制冷量为4K@1.0W,无负载是降温到70K所需时间为60min,当安装上负载后,考虑到负载以及相关支撑装置的冷却,制冷时间会相应的加长,但是依据经验,该降温时间大约在1.2h,满足实验要求。

5.集成控制系统:控制真空系统、制冷机的运行及安全反馈功能。可设置和显示工作目标参数和系统工作状态,具备反馈安全控制功能。10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温

技术指标:

震动量:<10nm

变温范围:4.5K-325K (零下269.15℃-零上51℃)

测温精度:0.01℃

真 空 度:10-4pa

光学窗口:2只(可定制)

窗口材料:熔融石英

输出电极:8根

二、操作流程

1:将按照所需要做的实验进行安装相应的卡具。安装完成后按照图纸将系统组件完毕。

2:使用分子泵组将分子泵组的分子泵抽气端口和真空腔体的KF25的真空抽气口用焊接波纹管连接在一起,打开波纹管上的高真空挡板阀,开启分子泵组,将系统内的真空度降至低于2X10-4Pa,关闭挡板阀移除波纹管(若实验时不碍事可以不进行拆除);

3:连接控温仪,开启压缩机,对系统内的进行降温,降温至4K以下。在控温仪上显示附近的温度,以及冷头处的温度。

4:测试完成后,关闭压缩机,等待系统自动升温。

热仿真分析

在降温至4K时,制冷机的功率为1.2W,此时对整个所处环境进行热仿真分析,具体分析结果如下图。

10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温

10nm超低震动4K变温系统 液氦极低温


根据热仿真结果可知,在4.2K时,温度均匀一致。

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