真空腔体作为现代科技领域的重要设备，其分类方式多样，主要依据结构形式、制造材料、真空度等级及专用功能进行划分。不同类型的真空腔体在工业生产和科学研究中发挥着不可替代的作用。
从结构形状来看，常见的真空腔体包括垂直型、水平型和立方型。垂直腔体采用圆柱形设计，特别适合空间受限的应用场景；水平腔体则更适用于长尺寸工件的连续处理；立方腔体因其多面体结构而便于集成多种功能接口。此外，针对特殊需求还可定制异形腔体。
材料选择直接影响腔体性能。不锈钢腔体凭借优异的耐腐蚀性和低放气率，成为高真空和超高真空环境的shou选。铝合金腔体以其轻量化和良好的导热性见长，而钛合金腔体则在强腐蚀性环境中展现出du特优势。
根据真空度要求，腔体可分为低真空、高真空和超高真空三个等级。低真空腔体结构简单，适用于一般工业应用；高真空腔体需要特殊的表面处理工艺；超高真空腔体则对材料纯度和表面光洁度有着近乎苛刻的要求。
功能型腔体针对特定工艺需求设计。真空镀膜腔体集成了多种功能组件，高低温测试腔具备精确温控能力，等离子体处理腔则配备了专业的电极系统。在选型时，需要综合考虑密封方式、表面处理工艺和系统扩展性等因素，以确保设备性能与工艺需求的wan美匹配。
