真空腔体进行高温烘烤是获得和维持超高真空环境的关键步骤。这一过程通过物理和化学作用显著降低材料放气率，确保真空系统的稳定运行。
高温烘烤的首要作用是qing除材料表面吸附的气体分子。在常温下，不锈钢、陶瓷等材料表面会吸附大量水汽、油脂和其他气体分子，这些物质会缓慢释放，阻碍真空度的提升。通过将腔体加热到150-250℃，可以加速气体分子的解吸过程。热量使分子获得足够动能脱离材料表面，同时高温还能削弱气体分子与材料表面的结合力，显著提高脱附效率。实际操作中通常采用加热带缠绕腔体外壁并包裹铝箔保温，或者使用烘烤帐篷进行整体加热，以确保温度均匀分布。
高温烘烤还能优化材料表面特性，抑制后期放气。当不锈钢被加热到450℃以上时，碳原子会向材料内部扩散，从而降低表面碳浓度，减少碳氢化合物残留。高温还能促使金属表面晶格重组，封闭气体吸附位点，减少微观缺陷，从而降低材料后续的气体吸附能力。这种处理对于半导体制造和粒子物理实验等精密应用尤为重要，可以有效避免杂质污染样品或干扰测量结果。
高温烘烤需要与真空泵组协同工作，形成完整的气体qing除*系统。在高温条件下，材料深层的气体如氢气会加速扩散到表面，被真空泵及时抽走。经过烘烤处理的腔体，其放气率可以降低到未处理时的千分之一，大大缩短达到超高真空所需的时间。这种处理显著提高了真空系统的长期稳定性，为精密实验和工业生产提供了可靠的环境保障。
