全自动探针台是用于测量样品的电学性能的设备,它可以自动移动探针头并在样品上进行定位,从而进行电学测量。它是现代纳米科技中常用的实验设备之一,广泛应用于半导体、纳米材料、生物分子等领域的研究。
全自动探针台主要由以下几部分组成:
1. 探针头:用于与样品接触并测量其电学性能。
2. 样品台:用于固定和定位样品。
3. 运动系统:用于控制探针头在样品上的移动。
4. 控制系统:用于控制整个探针台,包括运动系统和探针头。
5. 真空系统:用于在探针台测量时保持真空环境。
6. 计算机系统:用于操作和控制探针台。
7. 电源和信号线:用于为探针台提供电力和信号。
