高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，主要用于测试不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。根据功能和应用领域的不同，高低温探针台可以分为多种类型，包括但不限于以下分类：
真空高低温探针台：这种探针台可以在真空环境下进行高低温测试，适用于对材料在真空条件下的电学性能进行表征和测量。其温度范围一般从液氦温度（约4K）到高温（如475K），并且具有高精度的温度控制和稳定性。
射频高低温探针台：这种探针台可以在高低温条件下进行射频测试，适用于对半导体器件的射频特性进行表征。其温度范围和温度控制精度与真空高低温探针台相似，但还具备射频测试功能，可以对器件的射频参数进行测量。
光学高低温探针台：这种探针台结合了光学显微镜和高低温测试功能，可以在高低温条件下对样品的微观结构进行观察和电学性能测试。其温度范围和温度控制精度与其他类型的高低温探针台相似，但还具备高分辨率的光学显微镜，可以对样品进行微米级别的观察。
