超高真空系统（以金属密封情况为主）主要是以SS316（或者SS304）材质为主的腔体作为承载，并装配有不同功能的部件（也都是满足超高真空低放气率要求的材料组成）。
真空腔体内表面一般都会经过抛光处理（机械抛光、电化学抛光等手段），以达到表面更加平整、致密的效果；而真空系统暴露大气（vent）后，不单是腔体内表面，腔体内所有部件都会吸附（adsorb）气体（大部分是水气）；如果不进行烘烤（即在室温条件下），这些吸附的水气会缓慢地脱附（desorb），这个过程将会持续非常长的时间。
烘烤过程会加速水气的脱附速度，极大缩短系统进入超高真空（E-10 mbar量级）的时间。
系统在完成安装（或者破真空恢复后），需在真空好于E-5 mbar的情况下，开始烘烤。
超高真空系统都会安装有不同的电子部件，烘烤温度一般设置为120摄氏度（超出水的汽化温度），烘烤时间会根据系统的复杂程度来设置，一般不少于48小时；烘烤过程中，需要间歇性（例如，每10个小时）对离子规进行放气处理。
烘烤效果的判断，一般以期望得到的极限真空的100倍为参照，例如，极限真空为5E-10 mbar，120度烘烤条件下，真空达到2E-8 mbar，即可停止烘烤；如果真空系统较复杂，可以在E-8mbar量级下维持更长的时间。
