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在真空腔体内表面镀一层吸附材料真空度是否能更好

更新时间:2026-02-27 点击量:29

可以的。很多金属元素的新鲜表面都可以作为真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比较广泛的真空泵,就是通过钛棒蒸发新鲜钛到腔壁上来实现真空吸附。
现代同步辐射的直线管道则基本采用内壁溅射NEGNon-Evaporable Getter)材料来实现超高真空,同时减少电子打到腔壁引起二次电子,避免污染光学元件。NEG是目前比较流行的技术,主要是锆铁钒合金材料,不需要蒸发,通过真空中加热激活,把表面吸附的气体转移到体内(氢气除外)来多次重复获得新鲜的表面,实现真空吸附。


可以的。很多金属元素的新鲜表面都可以作为真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比较广泛的真空泵,就是通过钛棒蒸发新鲜钛到腔壁上来实现真空吸附。
现代同步辐射的直线管道则基本采用内壁溅射NEGNon-Evaporable Getter)材料来实现超高真空,同时减少电子打到腔壁引起二次电子,避免污染光学元件。NEG是目前比较流行的技术,主要是锆铁钒合金材料,不需要蒸发,通过真空中加热激活,把表面吸附的气体转移到体内(氢气除外)来多次重复获得新鲜的表面,实现真空吸附。

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