一、常用的金属材质
不锈钢 304，316，316L，316 LN
*常见的材质，600℃以下的结构件，加工简单，成本可控。
无氧铜，铍青铜，磷青铜
无氧铜一般用于低温导热或者垫片等材质，可以从极低温一直工作到500℃左右，但是在高温区就不适宜再作为结构件，因为强度大大降低。
铍青铜和磷青铜的特点是硬度很大，同时很耐磨，因此可以作为真空内部的轴承或者耐磨件使用。
铍青铜因为其弹性特点，还被用于很多弹片和插针的制造。
钽，钼，钨，钛
这些都是耐高温金属，按照耐高温程度，由低到高的排列是钛，钼，钽，钨
按照加工难易度来说，钨的硬度和难度*高，钼的加工件相对偏脆，钽的加工和不锈钢类似，钛在加工过程中随着温度的升高会出现粘刀的现象。
按照耐腐蚀程度来说，钛在表面会形成致密的保护层，可以用于高温氧化的环境。
而钼在氧气的情况下在500℃以上会形成氧化钼，二氧化钼在高温下会生化，这个就会造成钼材质的原件在高温氧化环境下会不断腐蚀。
二、常用的非金属材料
氧化铝陶瓷
氧化铝陶瓷因为加工简单，特别是批量加工成本较低，所以被大量的用在真空环境中，一般用作绝缘垫片或者高温的隔热材料等等。
聚四氟
聚四氟的性状很稳定，而且具有自润滑的特点，因此在真空内部常被用做润滑组件和绝缘组件，聚四氟的*高使用温度可以达到200℃左右，因此可以满足超高真空的烘烤要求。
PEEK
聚醚醚酮(PEEK)树脂是一种性能优异的特种工程塑料，与其他特种工程塑料相比具有更多显著优势，耐正高温260度、机械性能优异、自润滑性好、耐化学品腐蚀、阻燃、耐剥离性、耐磨性、不耐强硝酸、浓硫酸、抗辐射、*强的机械性能可用于*端的机械、核工程和航空等科技。
相对聚四氟，PEEK可以通过掺杂改性得到很多种不同性质的子类材料，例如耐摩擦，耐腐蚀，隔热等等。
