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气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试

【概要描述】气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试
快速实现室温-200℃环境的控温,可在真空环境下对样品进行光学,电学测试,测试中也可实现惰性气体的快速充放。

型号:JZM-63H JZM-100H 点击量:1057 厂商性质:生产厂家 更新日期:2025-03-03
产品详情
品牌锦正茂

气氛型高温探针台

功能描述

快速实现室温-200℃环境的控温,可在真空环境下对样品进行光学,电学测试,测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料,形状不同可选择探针,插拔等多种安装测试方式。

气氛型高温探针台   快速实现室温-200℃环境的控温,可在真空环境下对样品进行光学,电学测试,测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料,形状不同可选择探针,插拔等多种安装测试方式。气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试


气氛型高温腔参数:

① 温度范围:室温-200℃

② 标准铂电阻温度计

③ 控温精度:±0.1k

④ 真空度:10E-3Pa

⑤ 提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1

⑥ 匹配观察窗,插拔样品卡,探针卡,鳄鱼夹。

气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试

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注:产品为定制,不同规格价位不同,实际价格以沟通为准!



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