真空腔体进行高温烘烤是获得和维持超高真空环境的关键步骤。这一过程通过物理和化学作用显著降低材料放气率，确保真空系统的稳定运行。高温烘烤的首要作用是qing除材料表面吸附的气体分子。在常温下，不锈钢、陶瓷等材料表面会吸附大量水汽、油脂和其他气体分子，这些物质会缓慢释放，阻碍真空度的...
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